【摘 要】
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采用甚高频等离子化学增强气相沉积系统（VHF-PECVD）制备器件质量级本征微晶硅薄膜,研究薄膜的光电性质和结晶性质.结果表明：随硅烷浓度增加,薄膜材料的光敏性增加,晶化率减小;辉
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系,河北汉盛光电科技有限公司
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采用甚高频等离子化学增强气相沉积系统（VHF-PECVD）制备器件质量级本征微晶硅薄膜,研究薄膜的光电性质和结晶性质.结果表明：随硅烷浓度增加,薄膜材料的光敏性增加,晶化率减小;辉光功率增加,薄膜材料的光敏性减小,晶化率增加.将本征微晶硅薄膜应用到微晶硅薄膜太阳电池中,测试电池的I-V特性,获得开路电压.结果表明：硅烷浓度增加,电池的开路电压增加;辉光功率增加,电池的开路电压减小.
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