机械密封膜压测量方法综述

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对现有机械密封端面膜压测量方法进行了总结,提出了微型压力传感器法、薄膜压敏电阻式压力传感器法、MEMS微传感器法等新的测量方法,并探讨了其可行性。通过分析比较,认为微型压力传感器法可适用于近期的机械密封实验中,薄膜压敏电阻式压力传感器法和MEMS微传感器法具有很高的研究价值。
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