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微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
微机械传感器计算机辅助设计系统
【摘 要】
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微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
【机 构】
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重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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0年YQXB5S1.047期
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