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本文通过对荣华二采区10<
Deposition of Ti-Al-N Films by Using a Cathodic Vacuum Arc with Pulsed Bias
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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Institute of Physics, Chinese Academy of Science, Beijing 100080, China
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2013年6期
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