【摘 要】
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ＺｈＰ－３０型氦质谱检漏仪采用涡轮分子泵真空系统，以逆扩散方式检漏；只有一个操作手柄的组合阀可完成预抽、检漏和放气的全部功能；取代传统的冷规，用总离子流测量质谱室压强并提供对灯丝的
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ＺｈＰ－３０型氦质谱检漏仪采用涡轮分子泵真空系统，以逆扩散方式检漏；只有一个操作手柄的组合阀可完成预抽、检漏和放气的全部功能；取代传统的冷规，用总离子流测量质谱室压强并提供对灯丝的过压保护．本文给出分子泵作检漏用的各项特性。仪器最小可检漏率＜５×１０（－１１）Ｐａ·ｍ３／ｓ．
ZhP-30-type helium mass spectrometer leak detector with turbo molecular pump vacuum system, anti-proliferation leak detection; only a combination of operating handle valve can be completed pre-pumping, leak detection and deflation of all functions; to replace the traditional cold gauge, The mass ionization chamber pressure is measured with a total ion current and provides overvoltage protection of the filament. This article gives the molecular pump for leak detection with the features. Instrument minimum leak rate <5 × 10 (-11) Pa · m3 / s.
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