【摘 要】
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介绍了正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理、光路搭建和信号处理方法。正弦相位调制由外腔中的电光晶体引入,调制后的自混合干涉信号采用傅里叶分析的方法完成相位
【机 构】
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南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(91123015,61178044)资助课题
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介绍了正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理、光路搭建和信号处理方法。正弦相位调制由外腔中的电光晶体引入,调制后的自混合干涉信号采用傅里叶分析的方法完成相位解调。这项技术已经应用于纳米精度微位移测量,为了拓展其应用领域,将该技术应用于大范围位移测量。在实验过程中,使用自混合干涉仪和Agilent 5529A校准仪同时对大尺度和小尺度范围内的位移进行测量,通过比较测量结果来检验干涉仪的性能。实验结果表明,在普通的实验室噪声环境中,自混合干涉仪在毫米范围内的位移测量精度在亚微米量级,在微米和纳米范围内的位移测量精度分别可以达到18nm和7nm。并分析了位移测量过程中的误差来源,分析结果与实验相符。
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