【摘 要】
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基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金项目】
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Chinese National Natural Science Foundation(61404121)
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基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验。在结构尺寸近似的情况下,对影响上述三种MEMS探针性能的谐振频率、有效刚度以及品质因数等关键指标进行综合分析与比较。在此基础上,对上述MEMS探针的力灵敏度进行了评估。结果表明,环形MEMS探针适用于对柔性物体的高精度成像,而I2形MEMS探针则更适合于对大范围区域的高速实时成像。通过对机械结构与检测电路的进一步优化,MEMS探针的力灵敏度有望达到并超越现有悬臂式探针的水平。
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