精密LCR测试技术研究

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介绍了一种L、C、R测试系统,可以在75kHz~30MHz频率范围内对元器件进行精密测量。阐述了测试系统中的关键技术:包括自动平衡电桥法阻抗测量技术、75kHz~30MHz频率合成源技术、自动电平控制技术、鉴相及矢量测量技术、A D变换技术和四端对结构。研究了测试系统的误差来源及消除误差的方法,给出了系统的校准件的数学模型,并据此模型对系统的分布参量误差、频响误差等进行测量校准。最后给出了实验结果,系统的准确度为0 1%,被测件DUT上所加信号频率为75kHz~30MHz,以100Hz步进,幅度在5mV~2V范围内连续可调。
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