面向复杂多陷阱的随机电报噪声提取技术

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随着集成电路的发展,器件尺寸不断减小,导致MOSFET栅氧化层中的陷阱增多。低频噪声随之产生,尤其是随机电报噪声RTN变得愈发明显,对器件的可靠性提出了挑战。当器件中的陷阱个数多于1个时,陷阱间的耦合效应也对RTN信号的分析产生了重要影响。因此,开展针对复杂多陷阱情况下的RTN信号的提取技术的研究变得尤为迫切。目前现存的RTN提取技术在处理大数据量时迭代所耗费的时间成本大,且自动化程度不高,这些问题亟需解决。基于RTN信号非高斯性质,提出了自动化检测RTN信号的方法和自动化判定陷阱数方法,使得RTN信号的提取更加准确和高效。另外,还针对迭代过程中重要参数提出了自适应模型的方法,实现了大部分RTN信号提取的迭代加速。最后,对实测RTN信号应用上述方法进行参数提取,并分析了耦合效应对参数产生的影响。
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