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期刊论文
基于弹性变形的微动工作台研究
基于弹性变形的微动工作台研究
来源 :现代制造工程 | 被引量 : 6次 | 上传用户:zzzzzz1234566666
【摘 要】
:
测量仪器和加工设备的定位技术需要微位移技术的支持 ,微动工作台是实现微动的重要手段。介绍研制的一台低成本的 ,基于弹性变形原理的微动工作台 ,并对工作台的特性进行了试验和分析。
【作 者】
:
邹锋
聂恒敬
【机 构】
:
合肥工业大学仪器仪表学院检测研究所230009
【出 处】
:
现代制造工程
【发表日期】
:
2003年09期
【关键词】
:
微动工作台
弹性元件
线性度
测量仪器
加工设备
定位
弹性变形
Microposition stageElastic elementLinearity
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测量仪器和加工设备的定位技术需要微位移技术的支持 ,微动工作台是实现微动的重要手段。介绍研制的一台低成本的 ,基于弹性变形原理的微动工作台 ,并对工作台的特性进行了试验和分析。
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