论文部分内容阅读
随着薄膜技术的臻成熟，其应用领域不断拓展，将薄膜技术应用于传感器领域，制成薄膜传感器，完全符合现代信息技术要求传感器小型化、集成化、低功耗、多功能、智能化的发展要求。本文重点介绍了薄膜技术在薄膜温度传感器、薄膜气敏传感器、薄膜压力传感器等领域的应用研究，指出了薄膜技术对传感器技术进步的巨大推动作用。