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本文比较了Ｓｉ，Ｎ和Ｓｉ＋Ｎ等离子注入Ｈ１３钢后显微硬度和摩擦学性能的改善，结果表明Ｓｉ离子注入效果最佳。结合微观结构的ＴＥＭ研究，发现Ｓｉ离子注入后引起表面注入层部分非晶化微晶化，内注入层多晶化。
（Si,N）离子注入H13钢注入层微观结构和摩擦学性能研究
【摘 要】
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本文比较了Ｓｉ，Ｎ和Ｓｉ＋Ｎ等离子注入Ｈ１３钢后显微硬度和摩擦学性能的改善，结果表明Ｓｉ离子注入效果最佳。结合微观结构的ＴＥＭ研究，发现Ｓｉ离子注入后引起表面注入层部分非晶化微晶化，内注入层多晶化。
【机 构】
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北师大分析测试中心
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1997年5期
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