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日本精工研制开发出“真空清洁N系列薄壁轴承”，可应用于半导体制造装置的真空搬运机器人。N系列薄壁轴承的研制开发，进一步扩大了特殊应用环境轴承产品系列。
新型薄壁轴承
【摘 要】
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日本精工研制开发出“真空清洁N系列薄壁轴承”，可应用于半导体制造装置的真空搬运机器人。N系列薄壁轴承的研制开发，进一步扩大了特殊应用环境轴承产品系列。
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2005年2期
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