【摘 要】
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1.3.4.2金刚线切割发展的技术趋势1)大切速。传统砂浆钢线切割是通过高速运动的钢线带动掺在切割液中的碳化硅游离颗粒磨刻硅棒,切割形成硅片,通常切速仅有0.4mm/min。金刚线
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1.3.4.2金刚线切割发展的技术趋势1)大切速。传统砂浆钢线切割是通过高速运动的钢线带动掺在切割液中的碳化硅游离颗粒磨刻硅棒,切割形成硅片,通常切速仅有0.4mm/min。金刚线切割是在钢线表面利用电镀或树脂层固定金刚石颗粒,切割过程中金刚石运动速度与钢线速度一致,切割能力有大幅提升,因而可采用1.0mm/min甚至1.2mm/min以上的大切速,切割效率可大幅提升2~3倍以上。以8英寸硅棒为例,传统砂浆钢线切割一刀需要约10h,而金刚线切割只需3h,2017年新开发的国产专用金刚线切割机(如无锡上机和
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