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该文基于一种集成CMOS MEMs加工方式上，设计了一个双轴平面内加速度计。加速度计结构呈对称结构，有一个主体质量块、四个小质量块、8个弹簧和感应电极组成。理论上此加速度计可以提供X和Y方向相同的检测灵敏度。
双轴集成加速度计结构设计
【摘 要】
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该文基于一种集成CMOS MEMs加工方式上，设计了一个双轴平面内加速度计。加速度计结构呈对称结构，有一个主体质量块、四个小质量块、8个弹簧和感应电极组成。理论上此加速度计可
【机 构】
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无锡科技职业学院
【出 处】
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科技资讯
【发表日期】
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2015年21期
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