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激光光功率控制对激光加工技术极为重要，本文介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器件并根据光强稳定度要求分析给出了调制器的结构参数和相关的控制电路。按控制原理及调制器参数设计并实现声光调制系统获得了好的光强控制效果。受控前Ｈｅ－Ｃｄ激光器输出光强稳定度的１５％，控制后一级衍射光光强稳定度达０．２％。