【摘 要】
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提出一种电子测量方法,它能提高测量位移用的激光干涉仪的分辨力和可靠性。通过对干涉条纹间隔分区编码,测量位移的分辨力为波长的1/170(对He-Ne激光器约为4nm)。因为避免了
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提出一种电子测量方法,它能提高测量位移用的激光干涉仪的分辨力和可靠性。通过对干涉条纹间隔分区编码,测量位移的分辨力为波长的1/170(对He-Ne激光器约为4nm)。因为避免了在计数过程中由环境噪声而引起的累积误差,所以测量值比使用那些传统的脉冲计数测量法更为可靠。
An electronic measurement method is proposed to improve the resolution and reliability of a laser interferometer for measuring displacement. By partitioning the interference fringe intervals, the resolution of the measured displacement is 1/170 of the wavelength (about 4 nm for He-Ne lasers). The measured values are more reliable than those using conventional pulse counting methods because of the avoidance of accumulated errors caused by ambient noise during counting.
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