【摘 要】
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本文所讨论的多晶硅湿敏元件在国内还没有同类产品,本文介绍了多晶硅湿敏元件的构造、性能、工艺过程,并和国内常用的湿度计作了比较。这种元件具有响应快、灵敏度高、不受环
【机 构】
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内蒙古大学物理系,内蒙古大学物理系,内蒙古大学物理系,内蒙古大学物理系,
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本文所讨论的多晶硅湿敏元件在国内还没有同类产品,本文介绍了多晶硅湿敏元件的构造、性能、工艺过程,并和国内常用的湿度计作了比较。这种元件具有响应快、灵敏度高、不受环境干扰等优点。
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