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在半导体材料的加工过程中，很多重要步骤都涉及到了化学作用，讨论了半导体材料加工过程中化学缓蚀、化学机械抛光和清洗步骤的化学作用原理，介绍了从化学角度分析和优化半导体加工工艺的观点。
半导体材料加工过程的化学方法应用
【摘 要】
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在半导体材料的加工过程中，很多重要步骤都涉及到了化学作用，讨论了半导体材料加工过程中化学缓蚀、化学机械抛光和清洗步骤的化学作用原理，介绍了从化学角度分析和优化半导体加
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2009年11期
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