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激光干涉仪广泛应用于位移、角度、平面度、直线度、垂直度等领域的测量,在使用过程中传统的光路准直调整方法费时费力,无章可循全凭经验,耗费检测人员大部分精力。该文提出基于等比例偏移定量调整的准直光路方法,提高光路准直调整效率,检测人员可以方便快捷、精准定量、一次性的实现光路调整。
基于等比例偏移定量调整的光路准直方法
【摘 要】
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激光干涉仪广泛应用于位移、角度、平面度、直线度、垂直度等领域的测量,在使用过程中传统的光路准直调整方法费时费力,无章可循全凭经验,耗费检测人员大部分精力。该文提出
【机 构】
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天津市计量监督检测科学研究院,天津市产品质量监督检测技术研究院
【出 处】
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中国测试
【发表日期】
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2018年A01期
【基金项目】
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天津市市场和质量监督管理委员会2016年度科技项目(2016-W01).
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