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压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域,是一种低成本高效率的集成电路制造技术.国外压印光刻工艺主要为热压印.针对热压印光刻工艺中因热变形而导致精度丧失的问题,提出了冷压印光刻.冷压印光刻的复型分辨率和复型质量高,解决了热压印光刻中的诸多难题,实现了0.1μm特征尺寸结构的复型.
高分辨率常温压印光刻工艺研究
【摘 要】
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压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域,是一种低成本高效率的集成电路制造技术.国外压印光刻工艺主要为热压印.针对热压印光刻工艺中因热变形而导致精度丧失
【机 构】
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西安交通大学先进制造技术研究所
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2003年3期
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