Metallorganic Vapor Phase Epitaxy of(AlGa)InP on GaAs at Atmospheric Pressure

来源 :Journal of Materials Science & Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxbear0

【摘要】

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High quality (AlGa)InP epilayers lattice matched on GaAs substrates were grown by atmosphericpressure metallorganic vapor phase epitaxy (AP-MOVPE).The relations

【出处】

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Journal of Materials Science & Technology

【发表日期】

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1993年6期

【关键词】

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MOVPE GalnP mismatching photolummescence DOPING MOVPEGalnPmismatchingphotolummes

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