【摘 要】
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1.前言可靠的双向条纹计数,在理想的情况下,其干涉图形产生的两个正弦波形输出,既无直流偏移,相位差应是π/2。实际上,这些指标难于实现。因此,为了获得纳米级的程长分辨率,
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1.前言可靠的双向条纹计数,在理想的情况下,其干涉图形产生的两个正弦波形输出,既无直流偏移,相位差应是π/2。实际上,这些指标难于实现。因此,为了获得纳米级的程长分辨率,必须对正交相位信号进行修正。理想正交的干涉仪信号 U_1和 U_2,如图1所
1. Introduction Reliable two-way fringe counting, ideally, produces two sinusoidal outputs from its interference pattern, with no DC offset and a phase difference of π / 2. In fact, these indicators are difficult to achieve. Therefore, quadrature-phase signals must be corrected in order to obtain nanometer-scale path length resolution. Ideal orthogonal interferometer signals U_1 and U_2, as shown in Figure 1
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