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介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于3～5μm波长256×256PtSi红外焦平面的8相位256×256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.实测衍射效率大于80%,能在红外波前传感器中较好应用.
8相位256×256衍射微透镜的设计与制作
【摘 要】
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介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于3～5μm波长256×256PtSi红外焦平面的8相位256×256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为50
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学教育部图象识别与人工智能重点实验室武汉
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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