【摘 要】
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近年来,基于表面声波的微流控技术因为表面声波的产生与控制方式简单高效、表面声波与流体介质相互作用的形式多样,以及声波器件制备工艺简单、易于集成和检测等特点引起了广
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51575439,51711530237);机械制造系统工程国家重点实验室开放基金项目(sklms2017006);教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室项目
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近年来,基于表面声波的微流控技术因为表面声波的产生与控制方式简单高效、表面声波与流体介质相互作用的形式多样,以及声波器件制备工艺简单、易于集成和检测等特点引起了广泛关注和研究。目前,基于表面声波的微流控技术在生化分析与疾病检测等领域中主要围绕细胞等微粒的排布、分离、混合与汇聚现象、声波加热、声波雾化、生物传感等方面展开研究,部分技术已接近成熟,具有发展成为便携式设备的巨大潜力,市场应用前景广阔。本文总结了近20年来表面声波微流控技术在微粒的排布、分离、混合与汇聚现象、声波加热、声波雾化、生物传感等方面的研究进展,并指出了相关研究正在由声力、声热、声电等单效应向多物理场效应转变,由二维、微米级操纵向三维、纳米级操纵转变、由平面型器件向柔性器件转变的趋势。
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