【摘 要】
：
基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了
【机 构】
：
西安交通大学电子与信息工程学院,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室
论文部分内容阅读
基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应,仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式,并制备了振镜.实验测得振镜在120mA静态电流驱动下,慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°,慢轴及快轴的谐振频率分别为348Hz及660Hz,并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中,使得散斑对比度下降到4.2%,激光成像质量得到很大提升.
其他文献
着重阐述建筑非结构，包括隔墙，女儿墙及突出构件，围护墙，家具设备，楼梯的震害和抗震设计经验。
汽车是司机的第二个家。车内空气相对浑浊。同对春季也是各种细菌的高发季节。车主在做好各项防范工作的同时，不要忘记给车做一个全套的清洗杀菌作。
瞬息万变的大时代赋予了故宫博物院变革性的角色,故宫博物院同时也在寻求与之相适应的运作模式,以更好的展示中华文化的魅力。总体上,故宫博物院以开放的态度接触社会,并尽最
组织芯片亦称组织微阵列(tissue microarray,TMA)是将数十个、数百个组织标本整齐地排列在同一张载玻片上的微缩组织切片.组织芯片具有高通量、节约组织原材料和检测试剂、实
加强执政能力建设，是党的十六大提出的一项战略任务，也是我们党执政后面临的一个重大课题。先进性教育活动是提高党的执政能力的重要举措，广大党员和领导干部能否保持先进性，充分
文明礼仪是中华民族的传统美德,对礼仪的培养应从幼儿时期抓起。现在每个小孩都是家庭的中心,对幼儿 礼仪行为养成教育显得尤为重要,幼儿在 3 至 6 岁是行为习惯养成的黄金时
辽宁省科学技术协会第五次代表大会于6月3～5日在辽宁大厦召开。我省6名气象工作者出席，有2名当选为常委、1名当选为委员。
大学英语课程面临课时压缩、需进一步提高教学效率、改进教学方法的问题,为了进行更有效的教学,本文分析了将输出驱动假设为核心的产出导向教学法(production-oriented appro
目的扩大吴茱萸汤的临床运用。方法临床运用吴荣萸汤治疗头痛、眩晕、烦躁、汗症等。结果愈而不复。结论临床辨证论治使用吴茱萸汤,达到了异病同治的满意疗效。
县级融媒体建设是时代赋予我们的重要使命,但其建设方向仍在探索之中。本文以淮阴区融媒体中心发展 为例,一起探讨县级融媒体中心建设的现状、困难以及出路。