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UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪，使用环境20_＋3~C，设计分辨率0．21xm，测量范围X向850mm，Y向2340mm，Z向600mm。使用多年后，近期无法进行正常测量。仪器lJ：作时Z轴运行声音异常，测量探头精度下降，分辨率由平时微米级降至毫米级。
UMC850三坐标仪故障修复
【摘 要】
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UMC850三坐标仪是德国ZEISS公司的高精度测量仪，使用环境20_＋3~C，设计分辨率0．21xm，测量范围X向850mm，Y向2340mm，Z向600mm。使用多年后，近期无法进行正常测量。仪器lJ：作时Z轴运行声音
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所四川绵阳市919—605
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2011年11期
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