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介绍了半导体位置敏感检测器件ＰＳＤ的工作原理，标定方法及测量实例。
一种测量机床导轨直线度误差的方法
【摘 要】
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介绍了半导体位置敏感检测器件ＰＳＤ的工作原理，标定方法及测量实例。
【机 构】
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北京航空航天大学
【出 处】
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航空工艺技术
【发表日期】
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1997年4期
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