【摘 要】
:
MEMS器件的真空封装是整个工艺过程中的难点,封装的质量决定着整个器件的质量和使用寿命。现有的封装工艺,封装后器件内部真空度不能有效保持,是需要在真空下工作的器件的瓶
论文部分内容阅读
MEMS器件的真空封装是整个工艺过程中的难点,封装的质量决定着整个器件的质量和使用寿命。现有的封装工艺,封装后器件内部真空度不能有效保持,是需要在真空下工作的器件的瓶颈。随着吸气剂的广泛使用,使MEMS器件的真空度保持能力大大提高,但现有的封装工艺设备不能满足吸气剂的激活条件。分析了空气阻尼对MEMS器件品质因数的影响,提出一种将现有的真空共晶设备的改进方法,使之能应用于使用吸气剂的MEMS器件的真空封装工艺。
其他文献
近代,中西方文化之间的交流逐渐频繁,中国油画正朝着多元化的方向发展。油画艺术作为一种舶来品,对中华文化不断冲击的同时,出现了大量的中国艺术家,如国外有赵无极、朱德群等人,国内有林风眠、吴冠中等人,他们在东方文化的背景下,通过学习西方的艺术,最终形成自己独特的艺术风格。表现主义绘画起源于德国,它对20世纪初期的北欧诸国有着广泛而深刻的影响。表现主义绘画是将作品与材料作为载体,重视表现画家的内心情感,
当前,国内实体经济增速放缓,银行业发展环境发生变化。受利率市场化影响,企业投融资渠道增多;加之互联网金融冲击,银行之间的竞争从同业竞争演变成跨界竞争。在这种背景下,农
水平管降膜蒸发器因其传热系数高、传热温差低等优点广泛应用于海水淡化、食品加工、石油冶炼和化学工程等领域。水平管降膜流动过程中管外液膜厚度大小及液膜速度分布直接影
目的探讨细胞程序死亡蛋白1(PD-1)及配体(PD-L1)抗体与化学药物治疗(化疗)在眼部免疫相关不良反应上的差异。方法检索PubMed、EMbase、中英文数据库,时间截止为2019年12月。
有效防控税务机关行政执法风险是税务机关提升依法治税水平、提高税收征管质量的重要举措。随着我国依法治税工作全面推进,税务机关行政执法工作受到更广泛、更严密的关注,新一轮结构性减税、简化办税流程为纳税人带去普惠性红利,但也对税务行政执法工作提出了更严格的要求,即在落实减税降费政策和提供便民办税服务的同时,还应规范行政执法工作,降低执法风险发生概率,减轻风险损失程度。2019年国家税务总局制定《优化税务
船舶是机械设备和船员一体化的典型人机系统,人机功能的充分发挥和良好配合将会使船舶安全可靠地航行。本文通过两起因不正确装配引起的船机故障阐述了作为一个合格的轮机员,
关于读书,邓小平在1992年的南方谈话中曾说:“我读的书并不多,就是一条,相信毛主席讲的实事求是。”这句话主要是从学习马列主义经典著作要反对形式主义的角度说的。实际上,邓小平波澜壮阔的人生始终与书相伴,他爱好读书,涉猎广泛,是个儒雅的读书人。 “靠自己学,在实际工作中学” 1920年,年仅16岁的邓小平远渡重洋留法勤工俭学。5年多的时间里他没有太多安静读书的日子,却接触了马克思主义,成长为一
当前,在我国社会发展速度不断加快的过程中,校园教育工作对于学生成长所起到的关键性作用不言而喻,越来越多的人也开始意识到,家校合作才是真正的教育工作开展的有效途径。所
目的探究高血压患者药物依从性的影响因素。方法对高血压患者药物治疗依从性的影响因素进行研究时,采取的是问卷调查以及统计学方法。结果患者自身的态度、家庭情况以及医学