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本文就围绕着如何才能把能谱的定量分析结果做的准确这个能谱用户最关心的问题,从电镜、能谱仪和样品这三方面人手展开探讨.文中首先讨论SEM的加速电压、空间分辨力、电子源、光栏和束斑、出射角以及工作距离等；然后再讨论谱仪本身的能量分辨力、能量坐标轴的校准、计数率与放大器时间、探测器的效率、背底的扣除、CPS以及采集时间等；最后简略地介绍样品含量的均匀性、表面的平整度和导电性与及各种环境条件的干扰等多种参数影响.而且还分别用合金材料和化合物的分析实例来说明选择好各种参数,尽量减少各种不利的因素所带来的影响之后,一般都能够得到比较准确和满意的定量分析结果,使之达到GB/T17359-1998中规定的误差范围是不难的.