【摘 要】
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目前,在我厂的超纯水制备工艺中,对细小颗粒、胶体等杂质的处理是无能为力的。而这些杂质对半导体器件生产是极为不利的,尤其对于大规模集成电路的生产危害更大。有效地去除
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目前,在我厂的超纯水制备工艺中,对细小颗粒、胶体等杂质的处理是无能为力的。而这些杂质对半导体器件生产是极为不利的,尤其对于大规模集成电路的生产危害更大。有效地去除这些杂质是很重要的。上海医药工业研究院研制的 LFB×2自动反洗超滤装置就是针对上述这些情况而设计制作的。
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