论文部分内容阅读
采用有机碱和过氧化氢作为抛光液的pH值调节剂和氧化剂，分析化学机械抛光过程中化学作用对抛光过程的影响。氧化剂在钨表面形成较软的钝化膜，这层钝化膜可以使钨容易磨除，提高高低选择比；在压力作用下，有机碱进一步和氧化表面发生反应，使抛光速率进一步提高；而有机碱的作用还可使钨和二氧化硅介质之间的选择比较低，以避免碟形坑的出现。