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对LTCC内埋置MIM电容的传统万型等效电路进行了研究，对其等效电路模型的参数进行了提取，详细推导了该模型中元件的参数估算公式，并用二层LTCC电容进行仿真验证，可以看出建立的三维HFSS模型在第一谐振频率点内与电路仿真结果有很好的一致性，但是随着频率的增高，片式器件高频寄生效应就会更加明显，因此需要提取更加准确的高频等效电路。