EACVD低温合成金刚石薄膜中非线性电场的数值模拟

来源 :计算物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaokao4567

【摘要】

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采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳极基片附近反应区电场的空间分布按指数规律

【作者】

：

赵庆勋张靖辛红丽文钦若杨景发

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

计算物理

【发表日期】

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2003年5期

【关键词】

：

EACVD 金刚石薄膜低温合成非线性电场数值模拟电子辅助热丝化学气相沉积 Monte Carlo simulation diamond film EAC

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采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳极基片附近反应区电场的空间分布按指数规律变化,在一定的偏压条件下,随着气压的变化阳极附近将出现反向电场,对于金刚石薄膜的低温合成中的正离子分子,该反向电场起重要作用.

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