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金刚石薄膜在现代工业和军事中具有重要应用价值,但是其制备过程中仍然存在着诸多问题,影响了其产业化发展.本文采用数值模拟的方法对影响金刚石薄膜制备的关键因素直流电弧等离子体的流动传热过程进行了研究,获得了等离子体流动与传热过程中的流场分布、温度分布、电离度分布等有关参量的分布状况,为掌握和控制电弧等离子体流动传热过程提供了理论依据和指导.