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利用背激发检测光声技术测量了8个不同厚度SrTiO3薄膜的热扩散率，研究光声信号的幅值、相位及薄膜热扩散率随膜厚的变化规律发现，随着薄膜厚度的增大，光声信号的幅值和相位均逐渐减小；薄膜的热扩散率随着厚度的增加先增大后减小，在一定厚度下，热扩散率达到最大。厚度不变时，光声信号幅值、相位及薄膜热扩散率与入射光调制频率的相关性研究表明，光声信号幅值与相位随频率的增大呈非线性减小，但薄膜热扩散率的测量值在不同的调制频率下较稳定。