【摘 要】
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为实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和臭氧分解 ,采用α型Al2 O3 制成电介质薄层 ( 2 30 μm)以及窄放电间隙 ( 1 1 0 μm )的新工艺 ,取得折合电场强度E大于 4 0 0
【基金项目】
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国家自然科学基金!资助项目 (6 98710 0 2 ) ;国家自然科学基金!重点资助项目 (6 0 0 310 0 1) ;辽宁省科学技术基金!资助项目 (972
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为实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和臭氧分解 ,采用α型Al2 O3 制成电介质薄层 ( 2 30 μm)以及窄放电间隙 ( 1 1 0 μm )的新工艺 ,取得折合电场强度E大于 4 0 0Td的强电离放电 ,电子取得平均能量大于1 0eV ,臭氧浓度达到 2 0 0 g/m3,臭氧产生效率达到 1 0 0 g/ (kW·h) .进而实现臭氧产生装置生产组合模块化、小型化 .
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