【摘 要】
：
薄膜表面粗糙度是表征薄膜质量的重要指标 ,为了探求环境气压对脉冲激光烧蚀沉积纳米Si薄膜表面粗糙度的影响 ,采用XeCl脉冲准分子激光器 ,分别在惰性气体氦气和氩气的不同气
【机 构】
：
河北大学物理科学与技术学院,河北大学物理科学与技术学院,河北大学物理科学与技术学院,河北大学电子信息工程学院,河北大学物理科学与技术学院 河北保定071002,河北保定071002,河北保定07100
论文部分内容阅读
薄膜表面粗糙度是表征薄膜质量的重要指标 ,为了探求环境气压对脉冲激光烧蚀沉积纳米Si薄膜表面粗糙度的影响 ,采用XeCl脉冲准分子激光器 ,分别在惰性气体氦气和氩气的不同气压环境下烧蚀沉积了纳米Si薄膜 ,用TencorInstrumentsAlpha Step 2 0 0台阶仪对相应薄膜的表面粗糙度进行了测量。结果表明 ,薄膜表面粗糙度开始随着气压的增大而逐渐增加 ,在达到一最大值后便随着气压的增大而减小。由不同气体环境下的结果比较可以看出 ,充氩气所得Si薄膜表面粗糙度比充氦气的小 ,最大粗糙度强烈地依赖于气体种类。对于原子质量较大的氩气而言 ,其最大粗糙度仅比低气压时高出 11% ,而对于原子质量较小的氦气来说 ,其最大粗糙度比低气压时高出314 %。
其他文献
公共建筑作为我国建筑的主要组成部分,其能源消耗是住宅类建筑能耗的十倍以上；而办公建筑作为公共建筑的主体部分,其建筑面积近年来也随着城市建设的快速发展而迅猛增长,同时
乳腺癌是激素依赖性肿瘤。除雌激素外,雄激素在乳腺癌的发生发展中也发挥重要作用。雄激素受体（AR）经雄激素作用激活,通过不同方式调控雌激素受体（ER）及芳香化酶的表达,影响人表
本文用PH计直接测定乙酸乙酯皂化反应速率常数,比常规的电导法、滴定法简便快捷。
海洋混合是海水一种普遍的运动形式,混合的过程引起动量、热量、物质在水平或铅直方向传输,使得海水各种特性逐渐趋向均匀。海洋内部混合是物理海洋学中一个十分重要且发展迅
随着我国融资模式的不断丰富和完善,资产证券化被引进到基础设施建设项目中。本文从资产证券化的基本原理入手,论述采用资产证券化融资模式建设港口的必要性和可行性,对连云
控制由机械装夹方式所引入的波前畸变以提高惯性约束聚变(ICF)输出光束的质量,是在大口径钕玻璃片主放大器结构设计中必须考虑的。提出了一种新的有限元变形结果与光学元件面
为研究不同面向对象分类方法对GF-2影像桉树信息提取的可靠性,以广西平朗乡为研究区,首先对GF-2影像做多尺度分割处理,然后采用贝叶斯（Bayes）、决策树（DST）、K最近邻法（KNN）、支持
命名实体识别是文本信息处理的重要基础,也是自然语言处理的一项关键技术。近几年来微博迅速发展成为人们进行信息交流的平台,微博文本俨然已经成为进行命名实体抽取的新载体
企业的财务管理目标是企业财务活动所要达到的根本目的,是企业经营管理的出发点和归宿。企业社会责任是企业在实现财务目标的同时对各个利益相关者所承担的责任。从企业财务
<正>瘦瘦的身材,浓浓的眉毛下有一双炯炯有神的眼睛,他业务精湛,技术熟练,在公司经常参加技能竞赛,并且多次获奖,大家都称他"考试专家"。他,就是国网福建长泰县供电有限公司