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硅具有显著的压阻效应,是制造硅压阻压力传感器的理想材料.用硅制成的压力传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和进行批量生产、使用方便等特点.本文综述硅压阻压力传感器的最近发展,产品制造用的新技术、性能特点、发展水平;概述硅压阻压力传感器的应用,并对我国硅压阻压力传感器的发展提出了一些看法.