论文部分内容阅读
本文主要介绍伺服编码刻写装置的系统结构、伺服编码及试验结果,测试和检查方法.实验结果表明,所研究的刻写装置适合光刻伺服盘伺服编码刻写要求,为光刻伺服盘进一步实用化打下了基础.
光刻伺服盘伺服编码刻写装置研究
【摘 要】
：
本文主要介绍伺服编码刻写装置的系统结构、伺服编码及试验结果,测试和检查方法.实验结果表明,所研究的刻写装置适合光刻伺服盘伺服编码刻写要求,为光刻伺服盘进一步实用化打
【机 构】
：
华中理工大学,浙江医科大学
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
：
1990年9期
其他文献
目的探讨TNF-α与细胞外信号调节激酶1/2(ERK1/2)在骨骼肌损伤修复过程中的作用。方法将雄性C57BL6小鼠72只随机分为6组,正常组(1个组)和损伤修复组(5个组),于损伤修复组右侧
目的调查分析广东清远地区健康体检人群的血脂、血糖、尿酸水平。方法选择2014年6至12月清远市医院进行健康体检人群共3718名，检测其血甘油三酯、总胆固醇、空腹血糖、尿酸，进
目的探讨蒽贝素治疗类风湿关节炎（RA）的可能作用机制。方法选取Lewis雌性大鼠建立胶原诱导性关节炎（CIA）模型,将造模成功的大鼠随机分为CIA模型组、甲氨蝶呤组、蒽贝素20 mg/kg组
目的了解广东佛山地区普通体检人群高尿酸血症的患病情况及与血清肌酐、血糖、高血压病和糖尿病的相关情况。方法收集2014年该地区体检者共10043份资料。对其血尿酸、血清肌
安捷伦科技日前宣布推出低成本信号分析仪N9000A CX—A。CXA信号分析仪通过易于配置或重新配置的多种内置及可选的测量能力，具有卓越的灵活性，从而满足当前和未来的应用需求。C
文章叙述了谐波的测量方法、通过建立数学模型来分析在谐波检测中，所引入的不确定度分最，并对引人的不确定度进行了评定。
文章提出了基于NIOSⅡ处理器的高速频率功率计的设计原理与实现,介绍了频率功率计系统的基本结构,同时给出了NIOSⅡ处理器的频率测量模块和功率测量模块的实现方案。按照该方
目的构建载^（125）I标记反雄激素受体（AR）基因三螺旋形成寡核苷酸（^（125）I-TFO）纳米粒,并初步探讨其在体外对前列腺癌细胞的抑制作用。方法应用Bolton-Hunter法对三螺旋形成寡核苷酸进
本文从接口技术设计到软件的实现,有效地解决了微机(或单板机)与绘图机的通讯,实现了过程控制中控制曲线的“实时”绘制.