论文部分内容阅读
介绍高斯分解及基于ＬＭ算法的数值计算方法，并对无氢类金刚石薄膜的喇曼光谱曲线进行了分解。结果表明，数值计算的收敛性较好，数值拟合的相关系数均大于９５％，完全可以用于类金刚石薄膜的微观结构分析。根据分解结果可知，随着偏压的增加，Ｄ带和Ｇ带的分布中心均向低频偏移，而Ｇ带和Ｄ带的半高宽之比呈逐渐增大趋势。这表明膜层中ｓｐ＾３键的含量不断提高，同时键的扭曲程度不断增大。