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报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明,该陀螺结构原理正确,可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度,以及旋转体自身的角速度。
旋转体自身驱动的硅微机械陀螺
【摘 要】
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报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率。
【机 构】
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北京信息工程学院传感技术研究中心
【出 处】
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中国工程科学
【发表日期】
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2006年08期
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