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锆钛酸铅(PZT)薄膜的制备及其改性研究
锆钛酸铅(PZT)薄膜的制备及其改性研究
来源 :材料开发与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Nibel
【摘 要】
:
文章综述了锆钛酸铅(PZT)薄膜的主要制备方法,其中包括射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法和金属有机化学气相沉积法。讨论了不同工艺参数对于PZT薄膜的结构和性能
【作 者】
:
高文娟
殷明志
徐驰
【机 构】
:
西北工业大学理学院
【出 处】
:
材料开发与应用
【发表日期】
:
2013年2期
【关键词】
:
PZT薄膜
制备方法
掺杂
PZT thin films
preparation methods
dope
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文章综述了锆钛酸铅(PZT)薄膜的主要制备方法,其中包括射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法、溶胶-凝胶法和金属有机化学气相沉积法。讨论了不同工艺参数对于PZT薄膜的结构和性能的影响,并针对PZT薄膜出现的疲劳现象进行掺杂改性,探讨提高其抗疲劳性能的途径。
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