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本文针对稀土金属中难熔金属杂质元素Ta、Mo、W、Ti、Nb在盐酸或硝酸中不易溶解的性质,在前人工作基础上,采用氢氟酸络合-ICP-MS结合的方法,有效地将上述元素溶解在溶液中,并利用ICP-MS高灵敏度及多元素同时测定的优势,成功建立了稀土金属中难熔金属杂质元素Ta、Mo、W、Ti、Nb的测定方法.其操作过程较传统化学方法简便,灵敏度也更高.