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对ＴｉＮ薄膜进行阳极氧化处理，在ＴｉＮ表面形成了一层氧化。氧化膜呈干涉色，其颜色随槽压变化；氧化膜色调均匀、耐磨性较好。ＸＰＳ及ＡＥＳ分析结果表明，氧化膜由ＴｉＯ２组成，在槽压为９Ｖ时膜厚为９０ｎｍ。
TiN薄膜的阳极氧化
【摘 要】
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对ＴｉＮ薄膜进行阳极氧化处理，在ＴｉＮ表面形成了一层氧化。氧化膜呈干涉色，其颜色随槽压变化；氧化膜色调均匀、耐磨性较好。ＸＰＳ及ＡＥＳ分析结果表明，氧化膜由ＴｉＯ２组成，在槽压为９Ｖ时膜厚为９０ｎｍ。
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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1998年8期
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