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针对电学原理的加速传感器在大温差、高电磁干扰的环境中的使用受限制，以及二氧化硅等无机材料制作的多模干涉器韧性差、折射率调节困难、尺寸较大等问题，提出了聚酰亚胺波导材料的多模干涉器结构集成光学加速度传感器。在外力作用下多模干涉器的输入／输出光场与干涉区会产生相对位移，导致各模式激励系数发生改变，通过输出场强的变化测得加速度。利用束传播法分析多模干涉结构以及环境温度与波导输出性能关系，以及有限元法分析力学结构对传感器性能的影响，结果表明这种传感器具有加工冗余度高、温度稳定性高和线性度较好等优点。