电子工业光致抗蚀剂乳化废水预处理试验研究

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研究了光致抗蚀剂乳化废水用硫酸和含钙辅助剂破乳分离出有机物沉淀的预处理工艺.确定了最合适的预处理工艺参数和流程;用GC/MS法分析了废水的组成和浓度,并探讨了有机物的去除机理.试验结果表明,pH值控制在3,辅助剂A的浓度为300 mg/L、静置时间为60 min时,是最合适的工艺条件,废水的CODCr值从15 600mg/L下降到3 542 mg/L,CODcr的去除率达77.4%,投加辅助剂后既提高了有机物的去除率,又改善了沉淀物的过滤性能,从而有利于降低后续工艺的处理成本.
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