论文部分内容阅读
利用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上生长本征ZnO薄膜和MgxZn（1-x）O复合薄膜.采用X射线衍射仪（XRD）、紫外可见分光光度计（UV-vis）、光致发光（PL）等测试手段对样品进行表征,分别对半导体合金薄膜的晶格参数与结构、结晶质量、光学透过率及其禁带宽度进行分析与研究.比较MgxZn（1-x）O薄膜与本征ZnO薄膜的XRD图谱后发现,Mg元素可提高薄膜的结晶质量,但是复合薄膜的c轴择优取向没有因为Mg元素的引入而得到改善.随着Mg元素掺杂量的增加,MgxZn（1-x）O（x=0.10、0.20