【摘 要】
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【正】“JPJ—J型激光平面度仪”是新型的平面度测量仪,是用一个在空间自动安平的“激光平面”做为被测平面的“过度基准平面”,通过放置在被测平面的“光电测头”自动跟踪光
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【正】“JPJ—J型激光平面度仪”是新型的平面度测量仪,是用一个在空间自动安平的“激光平面”做为被测平面的“过度基准平面”,通过放置在被测平面的“光电测头”自动跟踪光束的过程,测得其平面度误差的原始数据。该值的数字形式显示,用电信号输入计算机,由专用程序直接算出被测平面的平面度误差,其对2M×2M平板平面度测量方法误差≤±2.5um,具体分析如下:
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