【摘 要】
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为了快速有效地测量微小透明物体表面形貌,设计了一种基于Mach-Zehnder干涉仪的两步相移数字全息系统。该系统使用两个相同的CCD在不同距离同时采集干涉图像,利用光学相移单
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为了快速有效地测量微小透明物体表面形貌,设计了一种基于Mach-Zehnder干涉仪的两步相移数字全息系统。该系统使用两个相同的CCD在不同距离同时采集干涉图像,利用光学相移单元在每个CCD记录的干涉图之间形成一个π的相移,然后通过光的空间传递函数及傅里叶变换给出了相位重建的算法。搭建了两步相移干涉光路,以微透镜阵列作为待测物体,验证了该系统的可行性。结果表明,该系统比四步相移法节省一半以上的时间,且能够达到与四步相移法相一致的相位重建结果。该方法对提高相位重建效率具有一定的帮助。
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